Design and Fabrication of a Ring-Coupled Mach-Zehnder Interferometer Gyroscope

Eva Kempf (1) , Pierre Labeye (2) , Philippe Grosse (2) , Frédéric Boeuf (1) , Stephane Monfray (1) , Paul G. Charette (3) , Régis Orobtchouk (4)

1 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
3 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
4 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Eva Kempf, Pierre Labeye, Philippe Grosse, Frédéric Boeuf, Stephane Monfray, et al.. Design and Fabrication of a Ring-Coupled Mach-Zehnder Interferometer Gyroscope. ESSDERC 2021 - IEEE 51st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), Sep 2021, Grenoble, France. pp.179-182, ⟨10.1109/ESSDERC53440.2021.9631793⟩. ⟨hal-03903336⟩